≪受注生産品≫
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【サイズ】
パッド外径：15mm
チューブ外径(φD)：3mm

【特長】
●半導体製造設備などに最適な小型タイプ。
●小型タイプホルダは、既存の真空パッド用ホルダのダウンサイジングを行い、省スペース化が可能。
●ホルダを設備から取外すこと無くパッド部の交換が可能。

【材質】
●パッドゴム：導電性シリコーンゴム
●金属本体：アルミニウム

【質量】
8.5g

商品詳細情報