≪受注生産品≫
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【サイズ】
パッド外径：6mm
ネジサイズ：M5×0.8

【特長】
●半導体製造設備などに最適な小型タイプ。
●小型タイプホルダは、既存の真空パッド用ホルダのダウンサイジングを行い、省スペース化が可能。
●ホルダを設備から取外すこと無くパッド部の交換が可能。

【材質】
●パッドゴム：EPDM
●金属本体：黄銅+無電解ニッケルメッキ



商品詳細情報